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半导体Chiller应用

气体制冷机液冷制冷机直冷制冷机半导体器件测试半导体热电制冷器液晶面板专用温控

新能源部件测试

新能源电机测试 IGBT崎岖温测试部件测控系统电池包应用测试汽车芯片高温测试转换器 / 逆变器性能测试台

生物制药化工

高精度崎岖温一体机超高温反应釜配套微通道管式专用控温系统防爆型机组高温密闭循环器液体冷却器

低温冷冻机

低温冷水机低温冷气机直冷型制冷机超低温冷冻机生物样本低温贮存非标定制

非标定制

二次换热式TCU解决计划初级能源应用直通式TCU解决计划集成式防爆定制控温系统 TCU温控单位

半导体热电制冷器

半导体热电制冷器又叫做：半导体式冷水机、半导体温控台、细密半导体冷却器，该系统由半导体制冷系统、循环水冷系统、温度控制系统及丈量治具载台等装置组成。普遍应用于半导体行业蚀刻装置，CMP实验室细密装置、高精度测试仪器等等

温控规模10~60℃，可扩展：-20℃~90℃；
控制精度0.05℃，可实现多种差别通讯方法；
可配备自力的控温通道，单通道、双通道、四通道可定制；
具有准时运转、液面下降、水泵防冻给、远程控制、触摸屏操控等功效；
本装备体积小巧，噪音低、耗电低、热效率高。

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PROTECO

参数看清晰

型号

装备名称
制冷方法
散热方法
控制方法
循环流体
操作面板
温度控制规模
温度稳固性
制冷量
水箱容量
控温通道数
接口尺寸
通讯
噪声
装备重量

半导体热电制冷器

半导体热电制冷器
热电半导体
强制风冷冷却
PID算法控制
乙二醇水溶液/氟化液
7寸触摸屏，中文显示，操作轻盈、显示直观，可显示、纪录温度曲线和测试数据
10~60℃，可扩展温度规模：-20℃~90℃。
±0.05℃
300~1200W(25℃）
约5L
单通道（双通道，四通道可定制）
收支口 G3/8
I/O,ETH,RS232、RS485
60dBA
约20kg

产品推荐

主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，装置由热交流器、循环泵、压缩机和控制系统组成，接纳先进的控制算法，提高了chiller的稳固性、控温精度和反应速率。在带负载的情形下控温精度可达±0.5℃，可在-20℃~85℃之间恣意控温，有优异的温度稳固性。

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主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。加热循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。冷却系统包括油水换热器、油油换热器（部分装备）、冷却水电磁阀、高温电磁阀等组成？刂葡低辰幽蒔ID控制手艺，高清触摸屏显示，设有多项；すπ，确保装备清静运行。通过机组自身的加热与冷却，向外界运送载热流体，知足工艺条件要求。

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气体制冷机

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主要由制冷系统、循环系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统接纳蒸汽压缩式制冷，压缩机及主要制冷部件均接纳国际着名品牌。循环系统包括循环泵、蓄冷容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成？刂葡低辰幽蒔ID控制手艺，高清触摸屏显示，设有多项；すπ，确保装备清静运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界运送载热流体，知足工艺条件要求。