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通过机组自身的高效换热系统，将进入装置内的干燥气体(如氮气，氩气或空气)从情形温度冷却到低温恒温状态， 装备出来的气体即可抵达目的低温温度。

依据差别工艺制程要求，控制设定温度、压力、扬程的循环液流经半导体工艺装备，如：chuck盘（晶圆卡盘）、载物台等，以实现半导体工艺制程的控温需求。

直冷制冷机是将制冷系统中的制冷剂直接输出蒸发进入需控温的换热器或控制腔体元件内，从而使目的装备快速降温恒温

此类装备解决古板崎岖温箱无法知足的局部测试要求,利便移动、包括以下：

1、崎岖温攻击热流仪
2、接触式崎岖温攻击机
3、热控卡盘、平板

此装备接纳半导体制冷片(TEC)实现加热制冷功效，优点：体积小、噪音低、热效率高，适合高精度测试仪器、医美装备等高精度控温需求。

液晶面板测试装备又名：LCD液晶恒温测试机、平板显示细密恒温机、液晶平板恒温机。主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂细密温湿度控制